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化学过滤器
<對象物質>
●鹼性物質(氨、胺類等)。
●酸性物質(氯化氫、硫化氫、二氧化硫等)。
●有機物質(高沸點有機物、矽氧烷等)。
<用途>
●裂造裝置內或設備配管內的清淨化。
●去除給排氣系統使用的壓縮空氣内的微量氣體。
●去除裂品捆包時的麈埃、N2 Purge類氣體的代替品。
<使用例>
●半導體、液晶曝光装置、計測儀器遇邊、檢查工程。
●黏結機器、雷射加工機等。
●太陽電池玻璃基板加工.食品加工、再生醫療、分析機器。
化学过滤器
ENIL .SORB高壓配管實装試驗數據初期除去效率.
