气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表.即利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系.该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD,一只用来做热源,一只用来测量流体温度,当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,再通过微电子控制技术,将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

　　气体质量流量计产品特点：

　　1.传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量

　　2.灵敏度高，能够对极小的始动流量就可以开始计量

　　3.在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了80:1甚至更高

　　4.全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性

　　5.支持多种气体的测量，允许客户对某些特殊气体进行现场标定

　　气体质量流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。