旗辰涂层测厚系统X-RAY XDV-µ SEMI 测厚仪
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宁波旗辰仪器有限公司
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特性:
• 全自动晶圆传输与测试流程可提高员工的工作效率• 能够针对直径小至 10 µm 的结构进行**测试• 通过图像识别功能自动定位待测位置• 通过 FISCHER WinFTM 软件实现简单操作• 离线使用:可随时进行手动测量• 适用广泛:可适配针对 6"、8" 以及 12" 晶圆的FOUP、SMIF 和 Cassette
应用:
镀层厚度测量:
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