任氏巨源 品牌
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产品应用：该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等优异性能，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰 、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
产品特点：
1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子环境更均匀。
2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。
技术参数：
| 型号/model | WBMW-DLZ3 |
| 可加热材料 | 非易燃易爆的任何材料 |
| 微波频率 | 2.45GHZ±50MHz |
| 加热方式 | 纯微波加热 |
| 功率/KW | 3 (功率可调) |
| 工作温度/℃ | 1200 |
| 长期工作温度/℃ | ≤1100 |
| 温度测试元件 | 微波场专用传感器/红外测温可选 |
| 控温精度/℃ | ±2（微波场专用传感器） |
| 石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm | φ102/φ92x1000 |
| 真空系统配置（可选） | 简单机械泵抽真空和不锈钢法兰； 10-1Pa真空用高档机械泵及真空计； 10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计； 10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计； |
| 升温速率(标配) | 0～1000℃/min 任意设定，可编程，分段加热 |
| 外型尺寸(长x宽x高)/mm | 1000´750´1830 |
| 微波泄漏量/ mW/㎝ | ≤0.4 |
| 提供相关配件 | 高温手套×1、中文说明书×1 |
| 保质期 | 整机免费保修1年 |
