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| 主要特性 | 最小值 | 典型值 | 值 | 单位 |
| 流量范围 | | +200 | | SLPM |
| 供电电压 | 8 | 10 | 15 | VDC |
| 功率损耗 | | | 60 | MW |
| 标定气体 | | 空气 | | |
| 线性误差 | | ±0.3 | | %读数 |
| 反应时间 | | 6 | | ms |
| 操作温度 | -25 | | +85 | ℃ |
| 储存温度 | -40 | | +90 | ℃ |
| 重复性和迟滞 | | ±0.5 | | %读数 |
流量参数
流量（SLPM） 典型值（VDC） 公差（VDC） 压降（英寸水柱） 0 1.00 0.05 0 25 2.99 -- 0.04 50 3.82 0.18 0.13 75 4.30 -- 0.21 100 4.58 -- 0.34 150 4.86 -- 0.65 200 5.00 0.36 1.09
