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台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机 ET10000
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真圆度仪 | 圆柱度测定机 EC5200/EC6100
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真圆度仪 | 圆柱度测定机 EC4100H
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轮廓仪 | 轮廓形状测定机 REF100
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真圆度仪 | 圆柱度测定机 EC3600A/EC36008/EC3600C
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粗度仪 | 表面形状粗度测定机 DSF9002
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粗度仪 | 表面形状粗度测定机 DSF900
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真圆度仪 | 圆柱度测定机 EC2500H/EC2700H
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粗度仪 | 表面形状粗度测定机 DSF6002
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真圆度仪 | 圆柱度测定机 EC1850P/EC3300P
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粗度仪 | 表面形状粗度测定机 DSF600
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轮廓仪 | 轮廓形状测定机 EF651D
面议表面形状粗度测定机DSF900产品参数
| Z分解能/测定范围 | 0.0075um/12mm 0.015um/24mm |
|---|---|
| Z检出方式 | 半导体雷射轴标 |
| 触针/测定力/针尖角度 | R2um/0.75mN/60° R25um/10mN/25° |
| 解析项目 | 形状解析（要素、方位向量、统计量、MASTER比较、公差判定） 表面粗度(JIS、ISO、DIN、ANSI、BS) 表面波纹(JIS) |
| 测定范围 | X:100mm |
| 直线度精度 | 0.4um/100mm |
