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一,机器用途
KJ型镜片扩张机被广泛应用与发光二极管,中小型功率三极管,集成电路和一些特殊半导体器件生产企业内的晶粒扩张工序。
二,机器特点:
①采用双气缸上下控制;
②恒温设计,膜片周边扩张均匀适度;
③加热,拉伸,扩晶,固膜一次完成;
④加热温度,扩张时间,回程速度均匀可调;
⑤操作简便,单班产量大;
⑥机器外型见实物。
三,技术参数:
品名规格 | 外形尺寸 | 扩张面积 | 净重 |
KJ-04 | 270x220x820mm | 4寸扩晶环 | 19 |
KJ-06 | 270x220x820mm | 6寸扩晶环 | 20 |
KJ-07 | 350x300x1200mm | 7寸扩晶环 | 30 |
KJ-08 | 350x320x1200mm | 8寸扩晶环 | 32 |
KJ-9.5 | 400x350x1300mm | 9.5寸扩晶环 | 36 |
KJ-10 | 400x350x1300mm | 10寸扩晶环 | 38 |
1,电源电压:220VAC(50Hz)士10%
2,工作气压:4Kg/cm2
3,温度范围:室温~100℃
4,上气缸行程: 200/250/300mm
5,下气缸行程:75mm(可双向调节)
四,操作步骤:
1,插上电源,气管快速接头接上高压气管,上气缸自动回升至顶端;
2,打开电源开关,将温度设定于60℃(不同晶片膜温差异士5℃);
3,按“下气缸下降”按钮,使下托盘回至下方,反复几次下气缸动作,将上升与下降速度调整至适合速度。(设备背面有两个旋钮可以调整下托盘的上升及下降速度)
4,松开红柄锁扣,向左掀起上工件板,先将扩晶环内环放于下托盘上,再将粘有晶片的翻晶膜放于下工件正*,晶片朝上,将上工件板盖上,锁紧红柄锁扣。
5,按下“下气缸上升”开关,下托盘徐徐上升,薄膜开始向四周扩散,晶粒间隔逐渐拉大,当晶片间隔扩散至原来的2~3倍或要求大小时既停止操作,将扩晶环外环圆角朝下平放在薄膜与内环正上方。
6,按下“上气缸下降”按钮,上压盘下降,将扩散后的翻晶膜套紧定位,松开按钮上压盘回*方。
7,按下“下气缸下降”按钮,下托盘下降至下方,掀起上工件板取出扩晶完毕的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序备背胶固晶。
五,维护保养:
1,用干净布块擦拭附着灰尘,活动部位定期涂少许机油润滑;
2,放置翻晶膜的位置必须干净,附着的油脂及灰尘会污染晶片,造成不良品产生。
六,注意事项:
1,气缸工作时切勿将手接近或放入压合面;
2,下压模表面切勿用锐器敲击,磨擦,以免形成伤痕;
3,机器安装时,应正确可靠接地;
4,机箱内电源危险,箱门应锁紧;
5,更换加热管或其它电器元件时,需在电源插头拔下时方可进行;
6,切勿用带水或溶剂的抹布擦拭机器,以免产生漏电或燃烧危险。
七,售后服务:
产品保修半年,终身维护。
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