H+P公司的XUV/VUV光谱仪采用平面掠入射具有像差校正的特点，三块光栅波长范围分别为1-20nm,5-80nm和40-200nm,总波长覆盖范围为1nm-200nm.光谱仪采用无狭缝入射能够提高光谱仪灵敏度。模块化设计能够满足不同实验的结构配置需求。它集成了狭缝固定架、滤波插入装置以及光栅电动定位装置。

参数规格：

※波长范围1-15nm需要另一块光栅

※也可以定制其他结构来匹配不同的光源距离

下面的图像可以证明XUV光谱仪的测量能量。它展现的是滤波后的单发飞秒激光脉冲的高次谐波谱。上面的图显示了x-ray CCD探测到的原始影像，而下面的图显示的是柱条叠加后的谐波图谱。这个过程都由XUV光谱仪自动完成。

产品特点：

●平场入射光栅光谱

●单光栅波长范围覆盖5-80nm

●也可以选择1-5nm光谱

●三种不同的几何结构

●不同的探测器选择：X-ray CCD相机或MCP锥形光纤

●工作气压<10^-6mbar,也可以提供无油气泵的独立真空系统