M2Beam M2因子测量仪
l 测量激光束M2值、束腰大小、位置、功率和光强分布 l *的软件控制 l 能够显示沿主轴传输的3D光束尺寸图像 性能参数：参数 | 数值 | 光谱范围 | Si InGaAsUV | 400-1100nm800-1800nm190-1100nm | 光束功率范围 | SiInGaAsUV | 100μW-1W100μW-1mW100μW-1mW | 刀片数量 | 7 | 光束大小（D） | 15mm(有透镜，)7mm(无透镜，Si& UV)3mm/5mm(无透镜，InGaAs) | 大发散角 | 10mrad(无透镜) | 束腰到透镜距离 | 2.0-2.5m | 尺寸 | 100x173x415mm | 机械调节 | 水平角度：±1.5°垂直角度：±1.5° |
FocusGage光束发散测量仪 整个系统包括安装在一个扫描束腰附件上的测量探头和一个独立的控制单元（有两个LCD显示操作按钮）。一个外部的VGA显示屏可以和控制单元连接，给出充分的图像显示。这个单元带一个RS232接口与另一台计算机通讯，以及一个FDD数据存储器。
l 测量激光束发散角、束腰大小、束腰位置、数值孔径 l 测量激光焦点位置、测量 l 波长小可达190nm，大可达1800nm
参 数 | 数 值 | 光谱范围 | Si InGaAsUV | 400-1100nm800-1800nm190-1100nm | 光束功率范围 | SiInGaAsUV | 100μW-1W（自带衰减片）100μW-1mW（自带衰减片）100μW-1mW | 性能参数： 光束大小（D） | 9mm(有透镜，Si& UV)12.7mm(无透镜，Si& UV)3mm/5mm(无透镜，InGaAs) | 分辨率 | ≥10μm | 焦深精确度 | ±50μm | 尺寸 | 100x173x415mm | 机械调节 | 水平角度：±1.5°垂直角度：±1.5° |
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