SOLLAS是WOP专门为硅基太阳能电池行业开发的激光加工机床，配置有飞秒紫外激光器和纳秒红外激光器，具有多任务操作功能，用于工业和研究，产能3MW/a。

光伏电池激光加工优势：

· 晶圆更薄

· 破损率更低

· 精密深度控制

· 飞秒激光冷加工

· 参数调整，促进生产开发

· 选择性刻蚀（根据不同材料控制能量传递）

产品特点：

· 工业研究生产线产量2.5 MW/a

· 飞秒紫外和纳秒红外激光源

· 机器视觉系统探测旋转和调整激光扫描区域

· 使用高性能扫描振镜精细激光束控制

· 5”和6”晶圆加工

· 生产模式下直观的触摸屏用户使用界面（SCA工程设计）

· 研究模式下全功能软件（SCA工程设计）

SOLLAS 执行4项工艺：

· 选择性刻蚀SiNx/SiO2

· 后触点激光烧制

· 边缘绝缘处理

· 激光标刻

· 可行性测试后整合其他加工过程

应用举例：

晶圆加工

使用UV飞秒激光脉冲刻蚀单晶圆上SiNx