TMC外壳 电晕预电离技术 固体开关 激光头尺寸＜3I 风冷，热管理 可冲洗光学架 集成4气门系统，便于气体处理 RS485，RS232，USB，FOC接口 带有能量稳定模式 CE欧标，RoHS认证
指标： 气体 | ArF | KrF | 波长（nm） | 193 | 248 | 高压开关 | 固体开关 | 固体开关 | 大脉冲能量(mJ)1) | 10 | 15 | 大平均功率 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG （W） | 2.4 4.0 | 4.0 6.5 | 空间相干性 （μm） | ＞300 | ＞300 | 重频 ATLEX-300-FBG ATLEX-500-FBG (Hz) | 300 500 | 脉冲宽度 （ns） | 5-8 | 光束尺寸（V x H）(mm)2) | 4x6 | 发散角（V x H）（mrad）2) | 1x2 | 能量稳定性 | ＜3% | 尺寸 (mm) | 540x470x370 | 重量 （kg） | 60 | 冷却方式 | Air | 供电要求 | 230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase | 1） 在低频时测量；稳定模式下，允许10%的能量和功率下降 2） 典型值，FWHM |
