ATLEX-1000-I 系列* 激光产品
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杭州秋籁科技有限公司
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Sensoft——仪器控制和分析
Puntino——用于望远镜优化的哈特曼-夏克波前传感
OPAL——单双通道自动波前传感器
LENTINO——自动波前传感器
SFERA——小镜头离轴检测
STELLA——大镜头离轴检测
Contour系列——用于隐形眼镜生产线上的准确快速计量
高重频,>1000Hz
TMC外壳
电晕预电离技术
固体开关
激光头尺寸<3I
风冷,热管理
可冲洗光学架
集成4气门系统,便于气体处理
RS485,RS232,USB,FOC接口
带有能量稳定模式
CE欧标,RoHS认证
指标:
气体
ArF
KrF
波长(nm)
193
248
高压开关
大重复频率(Hz)
1000
大脉冲能量(mJ)1)
10
15
大平均功率
8
脉冲宽度 (ns)
5-8
光束尺寸(V x H)(mm)2)
4x6
发散角(V x H)(mrad)2)
1x2
能量稳定性
<3%
尺寸 (mm)
540x470x370
重量 (kg)
60
冷却方式
Air
供电要求
230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase
1) 在低频时测量;稳定模式下,允许10%的能量和功率下降
2) 典型值,FWHM
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