超紧凑设计 高重频 TMC外壳 电晕预电离技术 固体开关 激光头尺寸＜3I 风冷，热管理 可冲洗光学架 集成4气门系统，便于气体处理 RS485，RS232，USB，FOC接口 带有能量稳定模式 CE欧标，RoHS认证
指标： 气体 | ArF | KrF | 波长（nm） | 193 | 248 | 高压开关 | 固体开关 | 固体开关 | 大重频（Hz） | 300 | 500 | 300 | 500 | 大脉冲能量(mJ)1) | 10 | 15 | 大平均功率（W） | 2.4 | 4.0 | 4.0 | 6 | 脉冲宽度 （ns） | 5-8 | 光束尺寸（V x H）(mm)2) | 4x6 | 发散角（V x H）（mrad）2) | 1x2 | 能量稳定性 | ＜3% | 尺寸 (mm) | 630x400x300 | 重量 （kg） | 65 | 冷却方式 | Air | 供电要求 | 230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase |
1） 在低频时测量；稳定模式下，允许10%的能量和功率下降 2） 典型值，FWHM
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