氮分子激光器激光产品-杭州秋籁科技有限公司手机版

详细介绍

氮分子激光器

PLASMA公司是世界上的气体激光器生产商，其产品主要特点是高质量、长寿命。

氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。

PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其*的性能（波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。

性能参数：

型号	NPL-3	LGI-505	LGI-511
波长, μm	0.337	0.337	0.337
脉冲能量, μJ	30	120	240
平均功率, mW 风冷水冷	3	40 120	240
模式	TEMoo	TEMmn	TEMmn
脉冲重复频率: 风冷水冷	1-100	5-400 5-1000	1-1000
脉冲宽度, ns	5	6-8	6-8
光束直径, mm	2	5	5
发散角, mrad	-	7	12
制冷	风冷	风冷水冷	水冷
平均寿命, h	5000	5000	5000
尺寸, mm	590×255×155	激光头：840×343×238 电源：484×510×212	1140×525×345
重量, kg	10	激光头：35 电源：35	105

产品简介

详细介绍