OerlikonLeyboldVacuum/欧瑞康莱宝 品牌
代理商厂商性质
上海市所在地
D40B旋片莱宝真空泵报价,品牌:莱宝(Leybold)
产品编码:11346
抽速 (50 Hz):40 m³/h
抽速 (60 Hz):48 m³/h
极限压强:2 x 10⁻³ mbar
双级旋片真空泵TRIVAC D 40 B
TRIVAC B是基于旋转叶片原理的油封真空泵。 注入the室的油用于密封,润滑和冷却。 泵体由不带密封元件的单个零件组成。 将它们固定以确保轻松拆卸和组装。
D40B旋片莱宝真空泵报价
环保的
安静
无振动运行节能
节约能源
低功耗
低发热量
现代真空技术
高达终压力的高抽速
即使使用气镇,终压力也很低
高水蒸气耐受性
即使在1000 mbar时也可以连续运行
内置油泵,正润滑滑动轴承
小的进气
高密封性(4He能力)
TRIVAC E and B 系列双级油封旋片泵
德国莱宝真空泵D40B,的主要技术参数为:
抽速:1.6m3/h~65m3/h
极限真空度:10-4mbar(无气镇分压)
2×10-3mbar(无气镇全压强)
5×10-3mbar(带气镇全压强)
耐水蒸汽能力:25mbar~40mbar
德国莱宝真空泵D40B,的主要特点:
1、内置油泵,对泵腔进行强制润滑。因此可以在入口压强为大气压的情况下连续工作.
2、内置自动防返油阀,可在停泵时自动将进气口截止,防止返油。
3、进气口和排气口有水平或垂直两种安装方式。
4、*的耐水蒸汽能力。
另外,欧瑞康莱宝的TRIVAC B家族中还有以下用于特殊用途的真空泵。
> 专门用于汽车刹车油注入的TRIVAC D16 B-DOT。
> 用于制冷行业中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX,ATEX认证防爆泵。
> 用于半导体行业的防腐蚀泵TRIVAC BCS系列。
真空泵目前应用越来越广泛,尤其是在半导体、化工等一些工况可能比较恶劣的应用行业里。今天就来讲一讲,在真空泵应用中防止泵内出现颗粒物的解决方法:
1、适当提高泵温。物质的升华、凝固是压力与温度的函数,随物质不同各有变化。因此提高泵内温度可以避免一些介质在泵内压缩过程中发生气固变相而形成颗粒物。如Al在刻蚀过程中生产的氯化铝,在对应压力下,其在80℃就会开始气化,因此在将泵内温度保持在80℃就可有效避免氯化铝的固化沉积。
2、降低会反应气体的浓度。单位时间内气体反应生成颗粒数量与气体浓度相关,所以在真空泵抽取这类气体的工艺中可以通过充入惰性气体,减少反应气体浓度来降低颗粒物的形成。这个方法也会用内温度冷却,防止介质降解、聚合形成腐蚀性物质等,也可以防止介质达到着火极限等可能,如CVD工艺中可能的爆炸。
3、增加抽气通道中的气流速度。为防止处于悬浮状态的固体颗粒物沉积,使气体的流动速度大于颗粒物沉积的临界速度,就可保证颗粒物随气流输送排出,防止沉积。具体的方法与第2点一样,在不影响真空泵的极限压力的前提下,就是充入适量气体。