EJA变送器在半导体行业应用案例
时间:2024-03-28 阅读:541
电子工业中,半导体、液晶面板以及各种电子元器件的生产过程需要大量供给超纯水,其中,半导体的制造代表了超纯水使用的最高等级要求。
超纯水(UPW),即除了水分子外,几乎没有任何杂质的水。
半导体工厂的超纯水系统包括了数个子系统和功能单元,需要精密的工艺设计和运行控制。反渗透法作为主要工艺技术之一,常用于预处理系统、除盐水系统和纯水系统等,需要对过滤器施加外界压力并进行稳定可靠的差压测量。
应用要求:
高精度的差压测量
优于传统压力开关的控制性能