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氦质谱检漏仪
安捷伦氦质谱检漏仪，是一款安捷伦生产的进口氦质谱检漏仪。
氦质谱检漏仪(MSLD) | 选择性氦离子探测仪(SIPD) | ||||||||
便携式 | 台式 | 移动式 | 移动式 | 模块式 | 手持吸枪式 | ||||
订货号 | G8600A | G8600B | G8602A | G8602B | G8601A | G8601B | G8603A | ||
型号 | VS PR02 | VS PD03 | VS BR15 | VS BD30 | VS MR15 | VS MD30 | 959 | VS C15 | PHD-4 |
前级泵 | DS 42 | 干式泵 组合 | DS 302 油封旋片泵 | TriScroll 620 | DS 302 油封旋片泵 | TriScroll 620 涡旋式干泵 | 涡旋式干泵或油封旋片泵 | 分子泵 | — |
名义抽速m3/hr (l/min) | 2 (34) | 3 (50) | 14 (232) | 30 (500) | 14 (232) | 30 (500) | 根据需要选配 | 根据需要选配 | — |
最小可检漏 | 5 x 10-12 atm cc/sec: 5 x 10-12 mbar l/s: 5 x 10-13 Pa m3/sec | 2 x 10-9 atm cc/sec | 5 x 10-10 atm cc/sec | 5 x 10-6 atm cc/sec 5 x 10-6 mbar l/s 5 x 10-7 Pa m3/sec | |||||
测试口压力 | 13 mbar: 10 Torr: 1330 Pa | 1 Torr | 5 Torr, 7 mbar, 667 Pa | — | |||||
校准 | 自动或手动（内部或外部） | 手动 | 自动或手动（内部或外部） | — | |||||
氦本底清零 | 一键式自动清零（自动本底追踪） | 手动 | 一键式自动清零（自动本底追踪） | 自动或手动 | |||||
通讯接口 | RS232 和analog （标配）、I/O 接口（选配） | Analog | RS232, analog, I/O 接口,和Profinet | Analog 和RS-232串口（标配） | |||||
设定点 | 5 个设定点（N/O 或N/C）（3 个漏率，1 个压力，1 个音频） | — | 与VS 系列相同 | ||||||
远程显示/控制 | 可选件 | — | 可选件 | ||||||
标准 | CE, UL/CSA | — | UL/CSA, CE Approved | CE, CSA/US | |||||
