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• LEGEX系列为超高精度CNC三坐标测量机,具有世界上精度水平,对所有可能产生误差的因素进行严格分析并消除或地降低其影响。超高精度CNC三坐标测量机LEGEX12128
• 固定桥结构和精密空气轴承在高刚性导轨上运行确保了良好的运动稳定性和超高几何精度。采用FEM结构分析模拟的*测试保证了几何运动精度,使负荷及其它变量波动造成的误差降至小。另外,其他多种技术如抗振测量等用于驱动单元结构中,实现了超高精度。
• 配备有三丰超高精度标尺、热膨胀系数几乎为零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型线性编码器。为其完美性能提供了的位置检测功能。超高精度CNC三坐标测量机LEGEX12128
• LEGEX高精度系列三坐标测量机配有温度补偿功能,因此设置环境不需要恒温控制室,就可以在18-22ºC的温度范围内保证主机精度。
• 提供丰富的选件,包括触发式和非触发式测头,数据处理部等支持超高精度测量,如要求高尺寸精度的齿轮、轴承、透镜、硬模或滚动转子。
规格
项目 | 型号 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 | LEGEX 12128 |
测量范围 | X轴 | 500mm | 700mm | 700mm | 900mm | 1200mm |
Y轴 | 700mm | 700mm | 700mm | 1000mm | 1200mm | |
Z轴 | 450mm | 450mm | 600mm | 600mm | 800mm | |
测量方法 | 超高精度线性编码器 | |||||
大测量速度 | 200mm/s | |||||
大加速度 | 1000mm/s2 | |||||
分辨力 | 0.00001mm | |||||
精度 (JIS B7440-2)*1 (2003) | MPEE 【L:测量长度 (mm)】 | (0.35+L/1000)μm | (0.6+1.5L/1000) μm | |||
MPEP | 0.45μm | 0.6μm | ||||
MPETHP | 1.4μm | 1.8μm | ||||
导向系统 | 各轴均采用气浮轴承 | |||||
工作台 | 材料 | 铸铁*2 | ||||
尺寸 | 550×750mm | 750×750mm | 750×750mm | 950×1050mm | 1250×1250mm | |
紧固用螺钉孔 | M8x1.25mm (工件固定用) | |||||
大测量高度 | 706mm | 696mm | 867mm | 861mm | 1056mm | |
大负载 | 200kg | 500kg | 500kg | 800kg | 1000kg | |
重量 | 3900kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg | 10500kg | |
空气供给 | 气压 | 0.4MPa*3 | 0.5MPa*4 | 0.4MPa*3 | ||
消耗量 | 120L/min*5 (正常情况下) |
*1 使用测头: MPP310Q。
可确保精度的温度范围: 18 - 22°C, 温度变化: 0.5K/h, 温度梯度: 1K/m。
*2 也可选择陶瓷涂层。
*3 需要0.5MPa-0.9MPa气压。
*4 需要0.55MPa-0.9MPa气压。
*5 需要160L/min以上气压。