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一、设备用途：
化学气相沉积炉主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制备。
二、设备特点：
1 卧式结构，双炉门结构，炉门启闭采用气动方式。
2 双层炉壳结构，内层不锈钢，外层为碳钢，中间通水冷却。石墨碳棒加热体，石墨碳毡保温层保温效果好。
3 控制方式为PLC加触摸屏方式，有手动及自动控制切换。自动化程度高，操作方便。
4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。
5 配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。
三、主要技术参数：
| No. | 型号 | 工作区尺 （WXHXL）mm | 高温度 (℃) | 真空度 (Pa) | 压升率 (Pa/h) | 温度均匀性 (℃) | 功率 （KW） |
| 1 | HZT-100-15 | 400X400X600 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 100 |
| 2 | HZT-145-15 | 500X500X750 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 145 |
| 3 | HZT-145-15 | 600X600X900 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 190 |
| 4 | HZT-360-15 | 700X700X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 360 |
