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多晶硅铸锭炉
型号:ZG-450D
详细描述:
一. 设备用途:本设备为产品,采用电阻加热方式,底部进出料结构。一次装入多达450Kg/500kg(视坩埚尺寸而定)多晶硅原料,用于多晶硅料的铸锭。
二. 设备特点:
1、 炉底设有防漏硅装置及防爆装置;
2、 温度梯度好,拉出硅棒效果好,杂质少;
3、 炉底升降采用机械传动机构,定向结晶通过炉内升降机构,伺服机构保温罩升降平稳,操作方便
4、 本产品重要部件已获得,一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉;实用新型.5;一种带水冷式双电极和软电缆的多晶硅炉;实用新型.2;发明.7。
三. 技术参数:
1.额定功率:200KW
2.常用温度:1500℃,高温度:1600℃
3.冷态极限真空度:<1Pa
4.坩埚尺寸:870×870×420(L×W×H)mm
5、大铸锭重量: 450Kg
6.移动隔热屏大位移量:380(mm)
7.移动隔热屏提升速度: 5~100mm/h(可调)