多晶硅铸锭炉

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2023-07-14 07:44:40
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上海晨华科技股份有限公司

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产品简介

多晶硅铸锭炉型号:ZG-450D 详细描述:一.设备用途:本设备为产品,采用电阻加热方式,底部进出料结构

详细介绍

多晶硅铸锭炉

型号:ZG-450D

详细描述:

一. 设备用途:本设备为产品,采用电阻加热方式,底部进出料结构。一次装入多达450Kg/500kg(视坩埚尺寸而定)多晶硅原料,用于多晶硅料的铸锭。

二. 设备特点:

1、 炉底设有防漏硅装置及防爆装置;

2、 温度梯度好,拉出硅棒效果好,杂质少;

3、 炉底升降采用机械传动机构,定向结晶通过炉内升降机构,伺服机构保温罩升降平稳,操作方便

4、 本产品重要部件已获得,一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉;实用新型.5;一种带水冷式双电极和软电缆的多晶硅炉;实用新型.2;发明.7。

三. 技术参数:

1.额定功率:200KW

2.常用温度:1500℃,高温度:1600℃

3.冷态极限真空度:<1Pa

4.坩埚尺寸:870×870×420(L×W×H)mm

5、大铸锭重量: 450Kg

6.移动隔热屏大位移量:380(mm)

7.移动隔热屏提升速度: 5~100mm/h(可调)


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