90kg多晶硅铸锭提纯炉

90kg多晶硅铸锭提纯炉

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2023-07-14 07:43:15
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上海晨华科技股份有限公司

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产品简介

90kg多晶硅铸锭提纯炉型号:ZG-90 详细描述:一、设备特点本设备为立式结构,具有高真空、充气及高温熔化定向凝固等功能,是多晶硅原料熔化及成锭的优选设备,在添加等到离子加热源后可满足部分提纯要求

详细介绍

90kg多晶硅铸锭提纯炉

型号:ZG-90

详细描述:

一、设备特点

本设备为立式结构,具有高真空、充气及高温熔化定向凝固等功能,是多晶硅原料熔化及成锭的优选设备,在添加等到离子加热源后可满足部分提纯要求。设备具有自动控温、快速升温冷却、快速升降取锭、超压保护等功能,同时设有操作平台方便操作及维护。


二、技术参数

型号

名称

额定功率

额定温度

坩埚容量

定向凝固速度

冷态极限真空度

ZG-90D

多晶硅定向凝固炉

160KW

1600℃

90KG

5-25mm/小时

6.67×10-2Pa

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