氮化硅陶瓷基板烧结炉
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上海晨华科技股份有限公司
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用途:主要于烧结氮化硅陶瓷基板
主要配置:
1.双层水冷炉体设计,压力容器钢炉壳
2.等静压石墨棒作发热体,电阻加热式
3.充气系统设有安全阀,压力继电器,可靠性强,安全性高。4.电气控制采用PLC加触摸屏控制方式
5.炉后部配快冷风机,可缩短冷却时间
主要技术参数:
型号:ZT-450-22
1.高温度:2200度
2.工作温度:2000度
3.真空度:1Pa
4.气压:1MPa.
5.工作区:600X600X1400mm
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