产品介绍INTRODUCTION

Park NX20 300mm是业界大样品原子力显微镜，支持300mmX300mm全程机动化。

新升级的Park NX20系统专为失效分析和质量控制实验室设计，可有效地检测整个300mm晶圆，且无需任何繁琐的样品位移。

经检验的原子力显微镜性能和单击-原子力显微镜自动化取消了样本调整的需求, 并使ParkNX2 0的扫描过程尽可能高效和便于使用。

通过我们的SmartScan测量界面，用户可以在整个300mmx300mm 区域轻松实现可靠与可重复的顺序多站点测量。

NX20 300 mm从而成为需要扫描大样品的FA、QA和QC工程师的。

灵活的300mm样品吸盘--Park NX20 300mm真空吸盘支持各种尺寸、 形状和类型的晶圆,让用户几乎可准确扫描任何样品。

特点FEATURES

专为大样品晶圆检测而建

NX20 300 mm进行了全新设计,可大样品的测量。整个300mm晶圆区域可进行低噪声原子力显微 镜测量分析。这幵启了一个全新的自动化测量范围，让工程师可以更快捷、更简便、更精确地幵展工作。

NX20支持300mm样品台，性能已被证实

因其的易用性和自动化以及不受影响的精度,NX20已是FA、QA和QC工程师的。

凭借其支持300mm电动XY轴工作台的扩大平台,NX20 300mm更上一层楼，允许用户轻松地以的精度检测更大的样品。

Park让精确测量更为简单

ParkNX20配备了我们的SmartScan操作系统，使其成为市场上最易于使用的原子力显微镜之一。 通过直观极为*的界面，即便是未经培训的用户无需也可快速扫描大样品。

这使高级工程师能够集中精力解决更大的问题和幵发更好的解决方案。

在完整300mm晶圆上扫描多个位点

SmartScan允许用户从位点到位点和样品到样品的层面上,借助基于网格和晶圆的模式，进行自动顺序测量 表面形态、高度和表面粗糙度的比较。这可以大大提高扫描大样品时的用户便利性和生产效率。