晶圆玻璃厚度测量仪

1: 批量设置元素的公差带及名义值.

在设置元素的公差带和名义值时，不用一个元素一个元素的设置，这样效率很低，可一次性批量设置公差带和名义值，提高效率.

2: 可建立多重工件座标系。并可以建立多重Z轴座标系。

晶圆玻璃厚度测量仪可以建立多重工件座标系。并可以在多个不同的Z轴平面上建立不同的Z轴座标系，这对有台阶的工件，且不同的台阶厚薄不一时，非常有用。

当建立多重工件座标系时，测量的数据的可以在哪一个座标系测量的，就显示哪一个座标系下的数据，也可以只显示在当前座标系下。

3：大半径小圆弧的精准测量

软件创新算法，可以精准测量大半径小圆弧，特别是小于45度的小圆弧，能作到精准测量，解决了业界的一大难题。

4：符合国家标准的形位公差计算能力。

可以计算直线度，圆度，位置度，轮廓度，平行度，倾斜度，垂直度，同心度，对称度。

5：功能强大的自定义报表功能。可以按客户的报表要求，输出报表

6:  快速精准的影像对焦功能。一次对焦动作，最快可以1秒完成。如果对焦时间设到2到3秒。对焦重复性可达0.002mm----0.003mm

7：可以在运行程序的过程中暂停执行程序，并对某误抓的元素修改后，继续向下测量

8：可以运行的程序步聚并将相应的数据发送到相应的EXCEL中。比如，当程序运行结果后，发现第5步，第8步，第23步超差，可以让机器重新测量一次第5,8,23步，并将对应的数据发送到EXCEL中。