1

机身、工作台

00级天然大理石底座、工作台和立柱

套

1

2

CCD

美国750TVL高清彩色CCD

个

1

3

镜头

POMEAS连续变倍镜头

个

1

4

光栅尺

分辨率0.5μm

条

3

5

马达

松下 400瓦

套

2

6

导轨

上银H级直线导轨

套

2

7

丝杆

TBI研磨丝杆

组

2

8

软件（加密锁）

INS-C

套

1

9

运动控制器

UWC4000P

块

1

10

探针系统

英国雷尼绍探测系统

套

1

选配

11

激光系统

日本KEYENCE高精度激光

套

1

选配

12

校正块

定制

块

1

13

光学玻璃

定制

块

1

14

电脑

CPU:I3/主板：华硕P8H81/内存4G/硬盘:120G固态/显示器: 22寸LCD；

套

1

15

软件说明书

软件操作使用说明书

本

1

16

合格证

产品合格证

份

1

17

出场质量检验表

仪器出厂质量检验表

份

1

量测范围（XYZ）

300X200X200

外观尺寸

1026X1543X1680

重量

400KG

承重

40KG

导轨

高精度线性滑轨 （中国台湾上银导轨）

传动方式

高精度丝杆传动（中国台湾TBI丝杆）

平台、底座材质

高精度花岗岩00级（山东济南青）

速度

X轴:300    Y轴:300    Z轴:200

XY 精度

（2.8+L/200）μm

XY 重复精度

2um

光栅尺分辨率

XYZ：0.5μm

运动控制

伺服马达（松下）

马达控制方式

摇杆操作控制、鼠标移动控制、软件模块移动控制

镜头

POMEAS卡位变焦镜头

镜头倍率

光学放大倍率：0.7X-4.5X

CCD影像

美国 TEO  750TVL

轮廓光

LED白色近平行光

表面光

LED白色四环八相灯,有角度的程控的上灯

放大倍率

影像放大倍率：28X-200X（实物到22寸LED1920X1080像素）

量测软件

INS-C

保固期

2年

使用环境

温度20±5ºC, 湿度45-75%测量机室所在环境中无影响检定的震动

电源

110V-220V±10% 50/60Hz