三次元测量设备技术特点：

三轴均采用自洁式预载荷高精度空气轴承组成的静压气浮式导轨，轴承跨距大，抗角摆能力强，阻力小、无磨损、运动更平稳。

采用反射式金属带状光栅计量系统，与大多数工件具有相近的热膨胀系数，确保了良好的重复精度。

传动系统采用国际高性能直流伺服电机、齿形带传动装置，确保传动更快捷、更精准、运动性能更佳。

Z轴采用气缸平衡装置，极大的提高了Z轴的定位精度及稳定性。

控制系统采用英国RENISHAW ucc系统，上下位机式的双计算机系统，从而极大地提高系统的可靠性和抗干扰能力，降低了维护成本。

三次元测量设备测头系统：

01、测头：

RENISHAW PH10T自动双旋转分度测头座

特  点：自动双旋转测头座，可实现空间7.5°步距的任意角度旋转；具有防碰撞保护功能，保护测座本身在受到外力时的自身损坏；配备有M8测头接口，可提供不同的测头之间的转换。

技术参数：

分度机构：

绕A轴（水平轴）     范围 0°～105°最小步距7.5°

绕B轴（铅垂轴）     范围±180°    最小步距7.5°

空  间  位  置       720个

最大输出扭矩         0.45Nm

允许最大加长杆长度   300 mm

重量                 645g

接口                 M8螺纹

控制器               UCC

重复定位精度<0.5 μm 使用 TP2 和 PS1R 测针

RENISHAW  TP20触发测头（含1个标准测力模块）

技术参数： 感应方向   ±X    ±Y   ﹢Z

测针接口   M2

重量       22g

额定寿命   ＞106次

02、测针组（mm）:

测针加长杆（mm）：

测头加长杆(mm):

测针中心座（mm）：

03、校准器：标准球Φ25及球座       1套

04、精度指标：

长度计量系统：英国进口RENISHAW精密光栅尺

RENISHAW读数头分辨率：0.5 um

示值误差：  E≤2.0＋3.3L/1000um

探测误差：  R≤2.0um

c、环境要求

温度：20+2℃  1℃/h   1℃/m  2℃/24h

湿度：40%-70%

电源：220V±10%,   50HZ-60HZ

气源：≥0.55Mpa