● Z轴通过电动手脉进行精准控制（对焦精度可达0.0005mm）

● 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台

● 高位目镜观察

● 千兆网口CCD图像成像(HKVISION-300万像素)

晶圆高度测量仪技术参数

3.1主体规格

◆X坐标行程:    200（mm）

◆Y坐标行程：   100（mm）

◆Z坐标行程:    150（mm）
◆X、Y坐标测量示值误差≤（3+L/150）µm ，L为被测长度(单位：mm)
◆X、Y、Z数显分辨率：0.001mm  
◆轮廓光源：绿色LED平行光源，无极亮度可調

◆上光源：白色LED环形可调光源

3.2目视系统
◆双目视镜筒+标准的TV摄像机端口

◆物镜：1.0-6.5X可连续变倍物鏡

◆目镜放大倍数：10X，单双目同，可选配20X
◆总放大倍数：  10X-65X（包括畸变在内的）
◆物镜放大倍数误差：放大率误差范围在0.08%内
3.3影像系统
◆标配CCD相机1X镜筒

◆CCD：千兆网口高清晰摄像头（HKVISION）
◆综合影像放大倍数：45X-1000X

晶圆高度测量仪软件功能

1.产品介绍

公司推广出的Z轴电动手脉金相测量显微镜，使用专业订制的高精准细分脉冲金相测量电机，通过设置多种脉冲细分量和机构上的精准调校，可以实现快中慢三档调速来控制Z轴光学镜头上下移动；

而在选择低速档时，我们让电机脉冲量的最小化设置跟传动机构的调校，可以保证Z轴上下移动时，精细到0.5UM-1UM（甚至更低的分辨率）每格（手脉刻度），而有效地杜绝了了目前市场上主流金相测量显微镜在高倍率使用下的通病不再发生（高倍下无法定准对焦面，使用手动Z轴调焦齿轮打滑等等现象！）

◆Z轴电动手脉金相测量显微镜集软件、光、机、电为一体，是高精度、高效率的测量显微镜；

◆Z轴电动手脉金相测量显微镜是观察、测量和处理系统化的显微镜阵容;

◆Z轴电动手脉金相测量显微镜可以作为观察显微镜，用相对量测法检查工件表面形状等非接触

测量为目的各种精密加工业，是计量室、实验室以及生产车间*的计量检测设备之一。