西特Model227超高纯压力传感器 西特Model227超高纯压力传感器
Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block” 气
体棒和面板设计，能够满足如今 300 mm 工具的要求。该
型号占用空间仅 11/8″，能节省宝贵的空间 ；结构坚固，是
要求*稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测
量应用于
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
的理想选择。
与其他采用大体积封头腔室的产品不同， Setra 227 型压
力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接
液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛
光至 5 Ra（蕞大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实
现无污染气体输送。
227 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输
出类型，精度达 ±0.25% FS 或 1.0% 读数。该型号可选符
合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接
口，另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针
D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合
使用时， 227 型可实现理想的压力测量和显示。
零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还
可选择绝压、表压或复合压测量范围。
高性价比
227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术，配有
316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地
构成可变电容。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使
电容减小。传感器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷
平衡原理，通过 Setra *的定制集成电路将其转换为高
精度的线性直流电信号。
Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传
感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的高精度、稳
定的电压或电流输出信号。
表压、复合压、绝压可选
PSI或BAR量程可选
11/8"下法兰安装
Setra   的227型传感器于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block
气体棒和面板。227型1-1/8"的占地面积优化了有价值的空间，其坚固的设计使
其非常适合那些要求*稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应
用。
与其它具有较大死端空泡体积的设计不同，227型具有一个方便洗涤的小排量
传感器舱。所有湿润部件均为优质VAR316LSS材料，电解抛光至5Ra（10
max.）的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达1x10-9atm.cc/sec的氦
渗漏试验。
可选择5VDC、10VDC或4-20mA输出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口
底座，并可选择多芯电缆、4针bayonet连接器和一个9针或15针D型连接器
用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器，该产品包达到了压力测量
及显示的Ji致。
该*设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节，可选择绝队压、
表压或复合压。
Setra   获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji
板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微
变圆，从而增加了电容。通过Setra   *的定制集成电路检测电容值的变化，并
利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度精准的线性DC电信号。
Setra   的整个超高纯系列均基于Setra   的被广泛认可的电容传感技术，高度精准和
稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰（EMI/RFI）。
应用
模块式1-1/8"气体棒和面板
高纯气体传输系统
半导体工艺工具
好处
出色的稳定性，可避免停机
抗EMI/RFI功能防止假停机
符合CE标准
UltraHighPurity(超高纯应用压力传感器)
我们提供所有Setra   产品的应用帮助，其中包括人员帮助和文献帮助，
而客户有责任确定该产品的适用性。
227型的技术规格
性能数据
jing确RSS*（恒定温度下）读数±1.0%或±0.25%全量程
非线性，BFSL±0.15%全量程
滞后0.20%全量程
非重复性0.02%全量程
热效应
补偿范围oF（℃）+15至+150（-9到+65）
零点漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
范围漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
加热漂移0.1%全量程
在额定70oF下校验过的设备。
根据此数据而计算的zui大温度误差。
环境数据
温度
工作温度*oF（℃）-40至+185（-40到+85）
储存温度oF（℃）-40至+185（-40到+85）
工作温度仅是电子设备的温度Ji限。
受压媒介的温度可能要高或低很多。
物理描述
外壳不锈钢
电气连接182.88cm.多芯电缆，Bayonet
连接器或D-型连接器
压力接头下安装“C”型密封
通风通过零点和范围接近孔
重量6.5oz（184g）
电气数据（电压）
电路3根导线（Exc、Out、Com）
激励10至30VDC（5VFSO）
13至30VDC（10VFSO）
输出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
电流消耗<8mA
校准精度为50Kohm负荷，可操作5000ohm或更大的负荷。
零点输出的出厂设置在±25mV之内（限5VDC输出）
或±50mV（限10VDC输出）。
范围（全量程）输出的出厂设置在±25mV之内
（限5VDC输出）或±50mV（限10VDC输出）。
电气数据（电流）
电路2根导线
输出4至20mA
外部负荷0至800Ohm
zui大电源电压（VDC）=10+0.02x（接收器正Ji导线的电阻）。
zui大电源电压（VDC）=30+0.004x（接收器正Ji导线的电阻）。
出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷，进行校准。
零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。
范围（全量程）输出的出厂设置在±0.08mA之内。
压力媒介
与316L不锈钢相兼容的液体或气体。
产品规格如有变更，恕不另行通知。
外形图
2.71
68.83
传感器范围及零点调节
0.26
66
0.81
20.57
1.13
28.70
Ø1.05
Ø26.67
1.23
31.24
15针D型
3.66
92.96
小排量传感器舱
Ø1.00
Ø25.4
Ø0.86
Ø21.84
1.13
28.70
0.86
20.32
0.86
20.32
Ø0.19
Ø4.83
安装孔
in
mm
2271E5
型号范围压力压力接头输出电气终端精度
2271=227025P=25PSI007B=7BAR
050P=50PSI017B=17BAR
100P=100PSI035B=35BAR
250P=250PSI070B=70BAR
500P=500PSI200B=200BAR
10CP=1000PSI
20CP=2000PSI
39CP=3000PSI
A=绝队压
C=复合压
G=表压
E5=下安装“C”型密封
（1.125”底座）
11=4~20mA
2B=0~5VDC
2C=0~10VDC
33=0.2~5.2VDC
59=0.2~10.2VDC
06=6ft.多芯电缆
B1=4引脚Bayonet接头
D9=9针D型接头
D1=15针D型接头
M1=5针微型DIN接头
F=±0.25%全量
程（有检定证
书）
J=±1.0%读数
（有检定证书）
订购信息
写出表格内所有方框内的代码。
示例量程0至100PSIG，下安装“C”型密封法兰，输出4-20mA，15针D连接器，读数精度为±0.25%全量程的217型变送器，
其零件号为2271100PGE511D1F。