椭偏仪
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广州思博科技设备有限公司
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光学显微镜(OM)
椭偏仪 是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空等,适用于超薄膜层测量。
适用于半导体、 介电材料、有机高分子聚合物、 金属氧化物、金属钝化膜、 自组装单分子层、多层膜物质和 石墨烯等材料。
广泛应用于半导体、 微电子、 MEMS、通讯、数据存储、光学镀膜、 平板显示器、太阳能光伏、科学研究、物理、化学、生物、医药等行业领域。
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