无泄漏 泄漏测试GRYLLS气体质量流量控制器
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科里奥利无泄漏 泄漏测试GRYLLS气体质量流量控制器

参考价: 订货量:
7888 1

具体成交价以合同协议为准
2023-03-13 16:42:45
880
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产地:国产;加工定制:是;质保:1年;
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国产
加工定制
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1年
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晟旗科技(北京)有限公司

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产品简介

无泄漏 泄漏测试GRYLLS气体质量流量控制器 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。

详细介绍

科里奥利质量流量控制器 在大多数流量仪表上0.6%的读数精度

4ms响应时间,无需预热,四个过程变量

内置的显示,工业协议

压力补偿,温度补偿

宽动态流量范围

科里奥利质量流量控制器技术参数:

1

  量程范围

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

  2

  准确度

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  3

  线性

  ±0.5~1.5%F.S

  4

  重复精度

  ±0.2%F.S

  5

  响应时间

  电特性:10sec 气特性:(1~4)sec

  6

  工作压差

  0.1~0.5MPa

  7

  耐压

  3MPa

  8

  工作环境温度

  0~70℃

  9

  数字量

  RS485 MODBUS协议

  10

  模拟量

  DC 0~5V ,4~20mA 可选

  11

  供电

  DC +15V/24V 可选,流量计<400mA,控制器<600mA

  12

  电气连接

  DB15


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