日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
日本KOFLOC5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光Ra≤0.1，杜绝二次污染介质
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
适用于高真空、半导体以及对管路洁净度高要求场合

日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器

性能参数：

    ★使用注意

一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。

二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。

三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。

四：耐压1.0Mpa，进口大压力5公斤。

五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。