格里尔斯差压式质量流量计

GRY-56系列差压式质量流量计/控制器采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，可以同时显示和输出：瞬时 流量、累计流量、压力、温度等。

气体质量流量计和气体质量流量控制器的应用

大多数传统的真空镀膜工具使用下游压力控制来维持真空气体的压力，这就需要用到气体质量流量计和气体质量流量控制器。

但是安装节流阀可能要花费数千美元，还需要单独的控制模块来驱动阀门。节流阀设置在更换气体或等待气体沉淀时，也会造成延迟。

格里尔斯差压式质量流量计

性能参数：

工作温度+10~+50℃

大工作压力3MPa/10MPa

对安装方式/方向的要求>1L/min量程，阀门须垂直安装

阀门等级阀门长闭

防护等级IP40

材质不锈钢

信号单色LCD显示屏同时显示流量、设定

数字输出信号RS485/PROFIBUS

模拟输入信号0-5Vdc / 4-20mA

模拟输出信号0-5Vdc / 4-20mA

电信号接口DB15

供电电压24-30Vdc

供电电流0.750Amp

规格测控范围100SCCM~3000SLM

精度（调零后标准条件下）±1%F.S

重复性±1%F.S

零点漂移&满量程漂移0.02% F.S/ ºC/Atm

工作范围/量程可调比2% ~ F.S / 50:1

大可测流量 F.S (可控制) 

典型响应时间200 毫秒(可调整) 

启动预热时间< 5 秒