3665

量程(N2)

10SCCM-20SLPM

30-150SLPM

精度

±1.0%FS

±1.5%FS

有效范围

2-

5-

重复性

±0.5%FS

响应时间

2秒

3秒

动作压差

50-300Kpa

150-300Kpa

另有低压差、高压差产品可选

耐压

1.0Mpa

泄漏率

1*10-8pa·m³/s以下

温度范围

5-45℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316、SUS316L、磁性材料等

密封圈VITON，选配NBR或FKM

电气接口

DB9

模拟信号

0-5V输入/输出

供电

+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA；

管路连接

标配1/4F9

标配3/8F9

选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4

选配1/2F9、3/8UJR、RC3/8

重量

约1000g

约1500g

针脚/颜色

定义

1针脚/棕色

阀门全开/全闭

2针脚/白色

0-5V输出

3针脚/红色

+15VDC

4针脚/黑色

电源COM

5针脚/黄色

-15VDC

6针脚/灰色

0-5V输入

7针脚/绿色

输出COM

8针脚/兰色

输入COM

9针脚/紫色

阀门电源输出