性能/参数

耐腐蚀抗腐蚀系列质量流量计

流量范围

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量单位如kg/h、g/min等

标定气体

内置130条气体可选择

含腐蚀气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)

精度(调零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(调零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

重复性

±0.2%FS

漂移(零点/满量程)

0.02% F.S/ºC/Atm

工作范围

0.5-

响应时间

10毫秒(调整)

启动预热时间

1秒内

标准工况

25ºC & 14.696 psia，可自定义修改

工作温度范围

-10~-50℃(另有高温订制品)

工作湿度范围

0-RH(非冷凝)

大工作压力

10Bar

大压差

5Bar

安装方向

任意

阀门状态

常闭

材质

SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez)

显示屏

背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度

数字信号

标准RS232

选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模拟信号

标准0-5V/1-5V/0-10V

选配:4-20mA

第二路模拟信号

标准0-5V/1-5V/0-10V

选配:4-20mA

电气接口

标准圆形8芯

选配:圆形6芯、DB9、DB15

供电电压

+24VDC

消耗电流

100mA大