Alicat质量流量控制器助推纳米级制造

在过去很多年中，人们对计算能力的需求不断增长，导致电子产品的复杂性和产量都呈指数级增长。纳米级制造的高成本和高灵活性已成为开发创新产品的主要障碍。超低成本、高性能制造工具的新颖平台通过将先进的处理能力与大尺寸的基板分离，从而消除了这一障碍。使用较小的基板也可以提高性能，并优于现有的商用工具。一直致力于完善和扩展其微细加工和纳米加工能力，并不断寻找可以帮助实现这一目标的新技术。Alicat半导体压力控制器和MFC系列质量流量控制器提供了一个性能、可靠性和价格之间无需折衷的解决方案，这使其成为纳米级制造系统的气体控制必要组成部分。

Alicat为这一挑战提供了的准确性、响应能力和控制气体流量需求。Alicat半导体压力控制器和MFC系列质量流量控制器提供了一个性能、可靠性和价格之间无需折衷的解决方案，这使其成为纳米级制造系统的气体控制必要组成部分。

Alicat半导体MCE系列真空气体质量流量控制器采用了层流差压(DP)技术，可同时测量98种气体的质量流量、体积流量、压力和温度，并进行全温度和压力补偿。MCE系列控制器低至0-0.5sccm、高至0-20 slpm、控制响应时间为50-100毫秒。Alicat质量流量控制器以惊人的精度和响应时间大大提高实验质量。