仪器型号

XG-VMC3020

XG-VMC4030

测量行程

X300×Y200×Z200mm

X400×Y300×Z200mm

操作方式

自动，鼠标+摇杆控制

测量精度

X、Y轴E₂=(3+L/200)µm；Z轴E₁=(5+L/200)µm L为被测长度，单位：mm

重复精度

X、Y轴≤3µm；Z轴≤5µm

移动速度

X、Y轴=150mm/s；Z轴=80mm/s

移动加速度

X、Y轴=300mm/s²；Z轴=150mm/s²

框架结构

悬臂式，花岗岩底座及立柱

传动方式

无牙*丝杆传动

驱动方式

伺服马达驱动

光源系统

可程控LED冷光源

影像系统

43万像素1/3″彩色相机

变焦物镜

自动变焦镜头模组

放大倍率

光学放大倍率：0.7～4.5×；影像放大倍率：28～145×

编码器

开放式光栅尺

光栅尺分辨率

1µm

软件输出

Word、Excel、AutoCAD、SPC

承重

25kg

仪器尺寸

W1100×D800×H1850mm

W1100×D800×H1850mm

仪器重量

280kg

310kg

使用电源

1∮ AC110/220V 50/60HZ 240W