MUEGGE等离子元件

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MUEGGE 等离子元件 MUEGGE 等离子元件

产品详情：

等离子元件MW2009D-260ED

描述：

双等离子体的组合可以用于获得二维等离子体阵列。单个源以及2个，4个和8个平行排列的等离子体可用于等离子体辅助表面处理，如表面活化，蚀刻和沉积。双等离子体是不使用磁场的直接微波等离子体源。在简化的描述中，它类似于由微波激发的反向发光管，双等离子体通常在约1000Pa至10Pa的低压下操作。由两个磁控管产生的具有2.45GHz频率的微波在两端被馈送到等离子体线中。在外部低压状态下放电点火，随着微波功率的增加，等离子体从沿着管的两端增长，并且形成轴向均匀的等离子体。

特征：

-低压微波等离子体源

-可扩展和紧凑的设计

-大面积应用

-高等离子体密度

-高效率

-低伤害

-轻松适应定制系统

参数：

-频率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz

-HF-输入功率：典型2 kW / m @ 1 mbar

-波导：同轴8/26

-过程压力：典型值0.1 mbar - 1 mbar

-等离子体密度：在2450MHz时高达1012 / cm3

-典型的过程气体：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO

-电子温度：~2eV

-同质性：优于5％

材料：

-腔室：铝

-气体喷淋：铝

-等离子体源：石英，AL2O3

-冷却：水/空气合并

连接器：

-同轴8/26（微波）

-接头套管（水，空气，气体）

-尺寸：客户特定

-MW电源元件

品牌介绍：

德国MUEGGE GmbH是在工业微波技术领域的供应商。其组合包括微波发生器和部件，包括相应的供电技术，用于各种应用，例如工业微波加热，尤其是等离子技术。由MUEGGE生产的微波系统用于等离子体工业、半导体和平板的应用程序。MUEGGE公司拥有25年工业微波产品的生产制造经验，始终为用户提供新的 技术及产品，其提供的微波电源、发生器全部由微电脑控制，可实现任何接口的通讯对接。

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