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PIEZOSYSTEM JENA X纳米定位仪PU系列原理介绍

时间:2020-09-07      阅读:187

产品介绍:
高稳定性
纳米和亚纳米范围内的高分辨率
运动高达40 µm
运动无机械间隙
轻松且通用的调整
集成的预紧力实现动态运动
高共振频率
可与其他PU压电系统组合
适用于1D,2D和3D系统的通用应用程序
真空兼容版本
PU系列执行器仅由一个金属部件组成。这意味着它们具有好的机械稳定性,并且可以动态工作。该平移台通过施加-20到130 V的电压信号显示出几乎线性的运动。PU系列的压电台可以组合用于XYZ 3D运动系统。基本挠性平台配有安装螺纹。每个压电系统都配有用于多轴配置的必要螺钉和零件。
参数:
可组合3轴:是
开环运动(±10%):40 µm
电容(±20%):0.7 µF
开环分辨率:0.08 nm
共振频率:1270 Hz
刚度:0.8 N /μm
推力:max.32 N
拉力:max.3 N
电压范围:-20 ... + 130 V
连接器:电压LEMO 0S.302
电缆长度:1 m
材料:不锈钢
尺寸(长x宽x高):28.5 x 14 x 14 mm
重量:27 g

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