半导体电阻率测试仪 电阻测量仪

半导体电阻率测试仪 电阻测量仪

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2023-07-11 08:16:20
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北京纵横金鼎仪器设备有限公司

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产品简介

描述:半导体电阻率测试仪 电阻测量仪 仪器分为电气箱和测试架两部分,仪器电气箱由直流数字电压表、高抗干扰、高度隔离性能的电源变换装置,高稳定、高精度的恒流源所组成。测量结果由LED数字显示、零位稳定、输入组抗高,仪器并设有自校功能,在片状材料测试时,具有系数修正功能,使用方便、测试架结构新颖

详细介绍

半导体电阻率测试仪 电阻测量仪

BD-86A型半导体电阻率测试仪是根据四探针原理,作为普及型半导体电阻率测试仪器适合半导体器材厂、材料厂用于测量半导体材料(片状、棒状)的体电阻率,方块电阻(薄层电阻);也可以用作测量金属薄层电阻。经过对用户、半导体厂测试的调查,根据美国ASTM标准的规定,在电路和探头方面作了重大的修改和技术上的许多突破。它更适合于半导体器材厂工艺检测方面对中值、高阻硅、锗材料方块电阻和体电阻率的测量需要,成为普及型的电阻率测试仪,具有测量精度高、稳定性好、输入阻抗高、使用方便、价格低等特点。

仪器分为电气箱和测试架两部分,仪器电气箱由直流数字电压表、高抗干扰、高度隔离性能的电源变换装置,高稳定、高精度的恒流源所组成。测量结果由LED数字显示、零位稳定、输入组抗高,仪器并设有自校功能,在片状材料测试时,具有系数修正功能,使用方便、测试架结构新颖、外形美观,探针为合金材料,配用宝石导向,具有测量精度高、游移率小、耐磨和寿命长的特点,而且压力可调恒定,备有手动探针测试台,自动控针测试台,供用户选择。

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 半导体电阻率测试仪 电阻测量仪

本仪器为国内*新研制出的普及型半导体电阻率测试仪器,特别适合于薄片材料测量。仪器主要技术指标


测量范围:电阻率 10-3∽103 分辩率为10-4Ω—cm,可扩展到105Ω—cm

方块电阻 10-2Ω/104Ω/□,分辩率为10-3Ω/□,可扩展到108Ω/□

薄层金属电阻 10-4∽105Ω,分辩率为10-4Ω—cm

可调半导体材料尺寸:直径:Φ15 ∽ Φ 100 mm

长度:150mm

3.测量方式:轴向、断面均可

4.数字电压表:(1)量程:20mV(分辩率:10μV)、

200mV(分辩率:100μV)、

2V(分辩率:1mV)、

  (2)测量误差:±0.3%读数±2字

  (3)输入阻抗:大于108Ω

      (4)显示3 1/2位红色发光二极管(LED)数字显示,

0 ∽ 1999.具有极性、过载、小数点、单位自动显示

5.恒流源:由交流供电,具有良好的防泄漏隔离功能

直流电流:0 ∽ 100mA连续可调

量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

分辩率:10μA、0.1μA、1μA、10μA、0.1mA

电流误差:(±0.3%读数±2字)

6.电性能模考核误差:<±0.3% 符合ASTM指标

7.测试探头:   (1)探针间距:S  =  1mm

                                (2) 探针机械游移率: ±0.3%  


(3) (3)压力恒定可调

8.电源:交流220V±10%  50HZ或60HZ  功率消耗 < 30W

9.电气箱外形尺寸:199×440×280mm


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