泽塔Zeta-300光学轮廓仪基础信息

  型号：Zeta-300

  产品：光学轮廓仪/表面轮廓测试系统

  品牌：Zeta泽塔

  简介：的3D成像及测试系统（为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的）

泽塔Zeta-300光学轮廓仪简述

  最的3D成像及测试系统（为用户量身打造的表面轮廓测量设备，是表面量测领域的）Zeta3D光学轮廓仪可以对近乎所有材料和结构的样品进行测试,从低反射率高粗糙度的太阳能电池片到高精密抛光的磁盘介质，甚至包括高纵横比结构的微机械部件和多层结构的微流体其器件。Zeta强大的研发能力还提供特种应用的设备定制服务，精密的光学测试系统和灵活自动的测试软件包让用户的测试工作变得更加灵活简单。

泽塔Zeta-300光学轮廓仪特点

 多功能光学测试模组

  ·Zeta-300测试系统提供多种光学测试技术，满足用户各种领域的测试需求：

  ·ZdotTMZ点阵3维成像技术，是Zeta所有系列产品的标配技术

  ·ZIC干涉反衬成像技术，实现亚纳米级粗糙度表面的成像及量化分析

  ·ZSI白光差分干涉技术，搭配任意物镜实现Z方向超高分辨率的测量能力

  ·Zx5白光干涉技术。保证Z方向高分辨率测量的同时，提供大视野范围内的测量和统计分析

 测试速度快

  1分钟内完成所有类型样品的3D扫描成像及统计分析，其超高的分辨能力甚至可以对纳米级的缺陷进行成像。

 操作简单

  自动化测试程序，一键式操作过程，测试菜单设置简单，30分钟培训速成，结果输出直观。

 功能强大

  支持Zeta所有的测试技术，满足用户对不同样品的测试需求，包括Zeta现有的光学轮廓测试技术、粗糙度和台阶高度测试技术等。 

泽塔Zeta-300光学轮廓仪技术规格

 Zeta-300产品尺寸(mm)

  系统(长X宽X高)：510x725x773

  主机：381x457x102

  显示器：596x449x240

  总重量：145lbs/65kg

 Zeta-300操作规范

  电压:100-230VAC

  电流:4A

  工作温度:18-30oC，非冷凝，±1℃每小时

 Zeta-300性能配置 

  3D成像:~1秒/点(ZiC)~10秒/点(ZSi)~25秒/点(ZDot)

  像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合镜配合100x物镜)

  最小Z轴步距:2nm(压电陶瓷载台)13nm(Z轴精密丝杠传动)

  Z轴分辨率：0.5(ZSi)

  13nm(Zdot)

  重复性3：7nm(1σ)

 Zeta-300系统配置 

  相机选项：640x480,1024x768,1280x960

  总放大率：35,000x(光学和数字放大)

  系统光源：3个大功率白光LED

  自动载台：150mmx150mm(XY方向)

  Z轴测试范围：40mm