利用颜色分布功能对电路板加热变化时的形状进行实时表示

能够对3D画面中任意选取2点进行断面波形表示

能够从0.1mm至50mm，以0.1mm刻度任意选取间距

通关平面修改（以电路板上任意3点为位移0修正假想平面）来修正电路板滚转等误差

能够通过水平切除修正和直线修正切去除差过大的数据错误

能够以最小二乘法进行修正

能够对区域的数据进行解析(保证修正等)

消耗电力

约14KVA

主机单元：约13KVA (200V)

控制单元：约200VA (100V) 观察单元：约200VA (100V)

驱动轮

2轴(x-y)5相微型步进马达

变位传感器1

※1

光源、波长

半导体激光 红色，670mm JIS class 1

分辨率

0.3μm

点径

7μm

变位传感器2

※2

光源、波长

半导体激光 红色，650mm JIS class 2

分辨率

0.8μm

点径

50μm

供给气体压力

0.6Mpa~0.9Mpa

气体消耗量

650L/min

重量

主机单元：约200kg

监视器单元：约60kg

外形尺寸

W1110xD910xH1000 (mm)不含突起部分

标准设置空间

W2000xD1500xH2000 (mm)

使用周围温度

25℃±3℃