通过采用矩阵加热器，可以针对每个区域调节加热强度

凭借较高的Δt 性能，该单元可以实现各种轮廓

使用触摸面板控制器时，只能从主机上进行操作

通过查看加热器配置，功耗已降低了约 50％

支持温度 400℃

装置尺寸

773W×863D×1417H mm

加熱方式

上面 ：热风、远红外线辐射并用

下面：远红外线辐射(选项)

冷却方式

外部气体（氮气或空气）通过导入（排气口连动）

附带冷却用流量调整阀门

電源

3相 200V 50/60Hz 10kVA

外部气体

0.3～0.5MPa 100L/min（MAX）

炉内氧浓度 

（氮气使用时）

100ppm

基板托盘

上面加熱

热风、远红外线加热器：7.2kW(約240W×30格)

※可对基准模组进行偏差设定

下面加熱(选项)

温度精度

常温～80℃ ：±3℃

80℃～400℃：±2℃

測定温度

常温～400℃

測定点数

6点

窒素供給機能

流量调整阀门：100ℓ/min

制御用専用ソフト

対応OS：Windows 8.1/10

装置重量

約140㎏