MBE装置MITO DENKO  MBE-260

MBE装置MITO DENKO MBE-260

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-06-27 10:35:38
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产品简介

MBE装置MBE-260概要:该MBE设备是超高真空装置,可以用从外部引入的激光在真空中激发,并将材料沉积在衬底上

详细介绍

MBE装置MBE-260概要:


该MBE设备是超高真空装置,可以用从外部引入的激光在真空中激发,并将材料沉积在衬底上。



MBE装置MBE-260规格参数:  

Configure

Spec

Processing room and vacuum exhaust system

Chamber Sharp

φ260mm Spherical SUS

Reaching vacuum

Less than6.7×10-7Pa (5×10-9Torr)

Ceramic bearing

turbo pump

250L/s

Target revolution unit

φ20mm×6 axes

Rotation / revolution motor drive (PC control)

Substrate heating unit

Infrared lamp substrate heating unit (can be changed to semiconductor 

laser substrate heating unit)

Size of substrate

10mm

Maximum 

heating  temperature

Above 800℃

Common specification

Power supply / control rack (JIS standard compliant) integrated chamber frame

PLD automatic control system (PC and control software)





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