二手Nikon ArF浸入式扫描 光刻机NSR-S631E

二手Nikon ArF浸入式扫描 光刻机NSR-S631E

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-04-17 11:09:37
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青岛佳鼎分析仪器有限公司

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产品简介

尼康公司(东京港区总裁KazuoUshida)发布了一代尼康ArF浸入式扫描仪NSR-S631E

详细介绍

尼康公司(东京港区总裁 Kazuo Ushida)发布了一代尼康 ArF 浸入式扫描仪 NSR-S631E。该光刻系统专为大批量半导体制造中的 7 纳米节点工艺而开发。它支持多重图案* ,并具有经过验证的Streamlign平台(也用于的 NSR-S630D)的高精度和出色的生产力。NSR-S631E 可满足下一代客户的制造要求,进一步提高覆盖和产量,这在多重图案化工艺中至关重要。

NSR-S631E通过使用新型投影镜头以及改进的对准系统标记检测和测量,提供 2.3 nm 或以下的混合匹配覆盖 (MMO * )。S631E 还可以通过每小时高达 270(96 次)晶圆的生产能力限度地提高晶圆厂的生产力。

Nikon ArF浸入式光刻机NSR-631E

主要特征

1.配备Streamlign平台

2. 提高产品性能

S631E 采用新开发的投影镜头设计,提供更好的像差校正功能,以确保的成像性能。此外,创新的测量光学系统提高了产品的对准和聚焦精度。

Nikon ARF光刻机NSR-631E参数图

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