二手尼康Nikon ArF浸没式光刻机NSR-S621D

二手尼康Nikon ArF浸没式光刻机NSR-S621D

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-04-17 11:06:59
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青岛佳鼎分析仪器有限公司

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产品简介

NSR-S621D已开发用于大批量制造22nm工艺节点(能够通过进一步提高久经考验的NSR-S620D的精度和生产率来处理双图案*1)

详细介绍

NSR-S621D 已开发用于大批量制造 22 nm 工艺节点(能够通过进一步提高久经考验的 NSR-S620D 的精度和生产率来处理双图案*1 )。尼康计划将 NSR-S621D 定位为其旗舰工具并扩大销售。

Nikon ArF浸没式光刻机NSR-S621D经过验证的Streamlign平台,实现了2nm的叠印精度和200wph的吞吐量,并在硬件和软件方面进一步改进,为客户的生产线提供和高效的解决方案。

主要性能

NSR-S621D主要性能

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