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面议尼康基于开创性的Streamlign 平台开发了 NSR-S620D，不仅可以实现 32 nm 的双图案光刻，还可以为下一代应用提供可扩展性。随后是进化型 NSR-S621D、S622D、S630D 和 S631E 浸入式扫描仪，适用于低至 7 nm 节点及以上节点的应用。
