ULVAC爱发科多腔溅射设备Entron EX W300是在Al、Cu、高熔点金属布线工序中有很多实绩的单片式多室对应平台。适应下一代流程的SIS（Self-Ion Sputter）-PVD、金属CVD/ALD、DRY预处理模块的组合且可提供性价比。

特点：

基于我们传统型号 ENTRON-W300 / W200 系列的型号，改进主要旨在提高生产力。

最多可安装 8 个工艺（PVD、ALD、CVD 等），外加 2 个（脱气、冷却）模块。

配备我们的新型搬运机器人，机械吞吐量达到 100wph 或更高。

我们提供专用工艺或小型晶圆厂的 S 型（单一型）和支持大型晶圆厂的 T 型（串联型），并灵活应对客户的生产计划。

可配备监控和管理设备运行状态的ED-PMS系统和非接触式膜厚测量设备MESEC-BIT。