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分析仪器物理仪器光学二次元三次元投影仪-能散型XRF
面议二手刻蚀机OXFORD PLASMALAB 800 PLUS现货供应
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面议二手刻蚀机现货供应MATTSON PARADIGM
面议Suss MicroTec ACS200 是一种自动光刻胶涂层和烘烤站,具有盒到盒基底操作。它支持在各种基材上旋涂和喷涂光刻胶。该工具提供完整的抗蚀剂涂层功能,包括高达 250 °C 的热板烘烤和背面冲洗自动去除边缘珠。
Gyrset 旋涂和 Alta 喷涂模块。
250 °C 可编程加热板。
自动去除边缘珠和背面冲洗。
晶圆直径:200 毫米(8 英寸)。
支持的小件:是的。
基材厚度:5 毫米。
支持的晶圆直径:
50 毫米(2 英寸)。
75 毫米(3 英寸)。
100 毫米(4 英寸)。
150 毫米(6 英寸)。
200 毫米(8 英寸)。
支持的光掩模尺寸:
125 毫米 x 125 毫米。
150 毫米 x 150 毫米。
用于光学图案曝光的光刻胶涂层。
用于掩模生产的光刻胶涂层。