曝光显影设备 SUSS MA/BA6

曝光显影设备 SUSS MA/BA6

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具体成交价以合同协议为准
2022-05-27 12:10:00
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产品简介

TheSUSSMA/BA6SUSSMA/BA6掩模对准器被广泛认为是半导体微米研究和微系统生产的基准

详细介绍

The SUSS MA/BA6 SUSS MA/BA6 掩模对准器被广泛认为是半导体微米研究和微系统生产的基准。凭借其创新设计,该平台可满足客户对精度、灵活性和低成本的需求。 在实验室环境中,在 MA/BA6上设计的工艺很容易转移到自动 SUSS 掩模对准器上进行批量生产

主要特色:

+顶面/底面/红外线对准

+定制照明可减少衍射曝光光学

+手动或自动台

+从 2mm到150mm 的晶圆或方形加工

+处理易碎、翘曲或不平整的晶片和碎 片

+顶部小至几毫米的碎片通过底边对齐

+高精度键合对准

+用于全晶圆纳米范围的压印光刻



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