槽式清洗机 Ultron B200

槽式清洗机 Ultron B200

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-05-27 12:05:00
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产品简介

关键应用:栅极预清洗RCA清洗光阻去除氧化硅腐蚀氮化硅腐蚀CoSix选择性腐蚀产品优势:1、占地面积小,将外部unit集成在设备内部来减小整体的占地面积

详细介绍

关键应用:

栅极预清洗

RCA清洗

光阻去除

氧化硅腐蚀

氮化硅腐蚀

CoSix选择性腐蚀

产品优势:

1、占地面积小,将外部unit 集成在设备内部来减小整体的占地面积;

2、高产能,优化的Marangoni Dryer;

3、重新设计槽体流场,较好的清洗效果和均一性;

4、有机清洗,控片回收;

5、机台将back conveyor集成在机台的后上方,节省了空间 ;

6、机台采用PLC和PC的结合控制方式, 系统可靠高;

7、优化机台内部流场设计,带来更好的articleperformance

8、破片侦测系统,防止二次伤害;


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